超快激光精密加工系統


產品特點

  • 超短脈沖激光材料加工為冷加工,不會在加工區域形成熱影響區域
  • 高精度平臺
  • 同軸旁軸視覺定位系統
  • 獨立研發加工控制軟件

系統參數

波長 355nm、532nm、1064nm可調
能量 5~500mj
頻率 50~1Khz
運動系統精度 ±3μm
脈寬 300fs~80ps
加工精度 200nm

產品應用

  • 透明材料精密加工
  • 陶瓷精密加工
  • 脆性材料精密加工
  • 薄膜&表面材料的分離/去除

加工樣品

藍寶石燈絲切割
厚度:0.4mm
精度:±0.005mm

氮化鋁陶瓷打孔
孔徑:0.08mm
精度:±0.002mm

鋼膜剝離
鋼膜厚度:0.1mm
精度:±0.005mm

藍寶石異形切割與打孔
切割速度:200mm/s
粗糙度:Ra<700nm

鍍金硅切割
厚度:0.4mm
精度:±0.002mm

材料分離
PI厚度:0.05mm
PE厚度:0.02mm

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